サムスンが30年かけ開発した半導体洗浄技術、中国へ流出の試みが発覚

サムスン電子と子会社が開発した「国家核心技術」である半導体洗浄装備を中国企業に輸出した一味が裁判にかけられる。容疑者らは「独自開発したもの」としながら容疑を否認したが、検察が新たに開発したデータ解析技法で技術原本の痕跡である「デジタル指紋」を確認して犯行のすべてが明らかになった。

水原（スウォン）地検防衛事業・産業技術犯罪捜査部は１９日、産業技術保護法違反と不正競争防止および営業秘密保護に関する法律（営業秘密国外漏洩など）違反の容疑で中国最大の半導体装備メーカーの系列韓国企業Ａ社の運営者と設計チーム長の２人を拘束したと明らかにした。彼らとともに犯行に及んだＡ社など法人３社と社員９人も同容疑で在宅起訴した。

サムスン電子の洗浄工程エンジニア出身であるＡ社運営者らは２０２１年１０月から昨年４月までサムスン電子子会社で韓国最大の半導体装備メーカーＭ社の退職者から洗浄装備チャンバー部（装備内に構成された洗浄作業が実際に行われる部分）の図面を確保した後、これを盗用して輸出用洗浄装備を製作した容疑を受けている。Ｍ社の洗浄装備移送ロボット図面を盗用して新たな輸出用ロボットを設計・製作したり、サムスン電子の洗浄工程レシピ（装備駆動細部手続きと方法を整理した文書）を活用して新たなレシピを作成した容疑も受けている。

運営者らが持ち出そうとした技術は半導体製造工程で発生する異物を除去して不良率を低くする技術だ。半導体はウエハーという原板の上にレーザー、化学薬品などを利用して回路を刻みつけたり削ったりする作業を繰り返すが、その過程で髪の毛の１万分の１の太さの異物が発生する。異物がしっかりと除去されなければ不良品になる可能性が大きくなる。

サムスン電子は子会社のＭ社とともに３０年以上の研究開発を通じて洗浄技術を完成した。この技術は産業通商資源部から「国家核心技術」「先端技術（技術集約度が高く技術革新速度が速い技術）」に指定された。

検察の調査の結果、運営者は２０１８年から高年俸を提示してサムスン電子出身者ら韓国の半導体製作専門家らを迎え入れて洗浄装備関連企業を設立した。２０２１年１１月に中国最大の半導体装備企業から直接投資を受けることにし、自身が設立した企業の人材と技術を中国企業の韓国法人であるＡ社に７８億２０００万ウォンで譲渡した。その後中国企業向けの洗浄装備を開発する契約を結び韓国の半導体企業などの技術資料を違法に収集して洗浄装備開発を主導したことが確認された。

これまで技術流出はほとんどが外国企業が高額年俸を掲げてエンジニアをスカウトする方式だった。しかし彼らは韓国の専門家らが子どもの教育問題などで外国生活を敬遠する点などを狙い、京畿道平沢市（キョンギド・ピョンテクシ）に技術流出拠点企業となるＡ社を設立し運営していたことがわかった。

彼らは捜査に備えて仮名を使い、会社も看板を出さずに運営した。コピーした技術資料は徹底して削除し、輸出試作品を偶然に目撃した同じ業界の関係者が通報しようとしているといううわさから携帯電話を団体で買い換えたりもしたという。

Ａ社は盗用した技術で実際に洗浄装備の試作品を製作して中国に輸出し、２台の量産装備を製作した。だが昨年１月に国家情報院産業機密保護センターから情報を受けて捜査に着手した検察が技術盗用の事実を確認して運営者らを拘束起訴し犯行が食い止められた。

検察はＡ社が中国本社から受領した開発資金約１００億ウォンを犯罪収益として差し押さえ、Ａ社の装備開発を中止させる一方、犯罪収益還収措置を取った。検察関係者は「彼らは容疑を否認しているが、会社の資料に残った過去の資料の痕跡であるデジタル指紋で技術盗用を確認した。今後も国家核心技術、先端技術を国外に流出させる反国家的犯罪には厳正対応する」と明らかにした。